国家真空仪器装置工程技术研究中心（以下简称工程中心）是依托中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司组建的我国真空技术领域唯一一家工程技术研究中心。工程中心2000年经国家365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址部批准组建，2003年通过国家365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址部验收，在当年验收的国家工程技术研究中心中排名第一。 

　　工程中心享有极高的行业地位，担任了中国真空学会/协会副理事长单位、全国真空技术标准化技术委员会会员单位、辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟理事长单位等重要行业职务。工程中心建立了规范的法人治理结构和完整的现代化企业管理体系，在内部全面推行7S现场管理模式、ISO9001国际质量体系、ERP，为工程中心的可持续发展奠定了必要的基础。 

　　工程中心以高真空、超高真空、超洁净真空技术为基础，主要研制生产薄膜材料/纳米材料/半导体材料制备设备、空间环境模拟装置、真空冶金设备、真空获得设备以及高档真空部件，是我国真空设备和高档科学仪器的重要研制、生产基地。通过持续不断地将具有重要应用前景的365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址成果进行系统化、工程化研究开发，建立365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址成果向生产力转化的中间环节，加快365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址成果产业化进程，不断推出具有高增值效益的系列产品，带动真空行业、领域的365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址进步和国家战略性新兴产业的发展。 

　　工程中心占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米，拥有完备的工程技术综合配套试验条件，建有7000平方米的洁净装调间、200平米的万级洁净实验室和特种工艺清洗线，拥有先进的加工和检测试验设备100多台套，在加工、焊接、化学抛光、真空除气、清洗、喷砂等方面具有明显优势。 

　　工程中心培养锻炼了一支国内一流的工程技术研究开发、设计和试验专业人才队伍，其中专职研究开发人员115人，研究开发实力雄厚。工程中心长期致力于从事开放性服务，先后承担并出色完成了国家863计划、365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址支撑计划、仪器专项、“02”专项、国家高技术产业化项目计划、地方365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址计划等一系列国家、地方及行业重大科研任务，攻克了IC成膜、超洁净真空获得、真空动密封等制约我国半导体、太阳能光伏、航空航天及科学研究等高端领域发展的共性关键技术，研制开发出了平板式太阳能电池覆膜设备、系列罗茨干泵、系列涡旋干泵、系列溅射离子泵、超洁净真空闸板阀等一批具有国际先进、国内领先水平的高技术产品；接受委托，为国内外科研院所、大专院所及高技术企业提供各类高端科研仪器设备2000多台套，促进了我国科研事业的发展；承担了载人航天工程、上海三代光源工程等国家重大基础设施关键核心部件的研制开发任务，为国家重大工程建设做出了卓越贡献；先后获得国家365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址进步特等奖、一等奖、二等奖十余项，中科院365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址进步奖近五十项，地方及行业奖项几十项。 

　　目前，工程中心已发展成为一家发展方向明确，具备稳定收入来源，拥有国内一流的工程技术研究开发、设计和试验专业人才队伍，具有较完备的工程技术综合配套试验条件，能够提供多种综合性服务，与相关企业紧密联系，同时具有自我良性循环发展机制的365bet娱乐平台_bet体育365官网正规_365beat网址开发实体。